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制程環(huán)境沙盤模型

2023年02月08日

制程環(huán)境沙盤模型CWW中國模型網(wǎng)

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在芯片、半導(dǎo)體器件生產(chǎn)全過程中,制程環(huán)境污染控制極為重要。核心制程的空氣潔凈度需要達(dá)到ISO Class 1,氣態(tài)分子污染物(AMC)濃度需要低于百億分之一,不合格的制程環(huán)境會導(dǎo)致產(chǎn)品良率大幅度降低。CWW中國模型網(wǎng)

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普通的空氣中含有大量微粒、浮塵等顆粒污染物及二氧化硫、氮氧化物、氨氣等氣態(tài)污染物,只有經(jīng)過處理后才能進(jìn)入潔凈室。因生產(chǎn)半導(dǎo)體等微電子器件的潔凈房需全天保持標(biāo)準(zhǔn)潔凈度,所以潔凈空調(diào)系統(tǒng)(包括排風(fēng)系統(tǒng))、為其配套的冷熱源及相應(yīng)的輸送系統(tǒng)必須24h運行,與其他常規(guī)空調(diào)系統(tǒng)極其不同。CWW中國模型網(wǎng)

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