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全自動(dòng)晶圓盒FOUP清洗機(jī)模型

2023年07月19日

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專項(xiàng)研發(fā)雙流體旋轉(zhuǎn)噴射清洗方式,實(shí)現(xiàn)超微精密清洗,最佳節(jié)能設(shè)計(jì);高效干燥技術(shù),AMC 化合物去除技術(shù)全生產(chǎn)過程實(shí)時(shí)監(jiān)控,兼容自動(dòng)傳輸系統(tǒng)(AMHS);SEMI通訊標(biāo)準(zhǔn)兼容GEM300,符合SEMI S2、S8標(biāo)準(zhǔn)高產(chǎn)量,最優(yōu)占地面積設(shè)計(jì)Pt9中國(guó)模型網(wǎng)

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